该厂为8英尺晶圆制作线整套搭配的超蒸馏水平台,一整天引发含硅焦化废水150吨。焦化废水面虽无高价属,但硅含氧量高易水垢,且阻值率需可达到18MΩ·cm就可以工业生产废水进行处理。同一进行处理工学艺没有办法达到新制定的《电子器件工业生产水污染问题物排放口物标准单位》(GB39731-2020)有点排放口物规定值。
污废水 基本成分优点
其主要感染物
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒状硅(粒度0.1-1μm)
异常规范要求
:TOC<10μg/L,硼含水量<5μg/L
饮用水基本特征
:低导电率(<50μS/cm)但硅氧化物体型复杂化
补救工艺设计过程
不断创新所采用"梯级膜区分+电去铁离子"结构流程:
微滤预加工处理
:1μm陶瓷图片膜电话拦截大颗料硅,通量提升80LMH
阳离子对调硅胶粘合剂
:D201大孔不饱和树脂确定性过滤硅酸团伙
二次RO软件
:一段收售率60%,第二名段选择高脱硼膜器件
EDI电去阴离子
:功率黏度2A/m²,持续时间的还原稳定度铝离子
UV紫外线消毒杀菌
:254nm紫外线,线药量40mJ/cm²
技术工艺工作亮点
開發专业级阻硅剂(有机化学胺类pp物),延长时间膜生态破坏周期怎么算3倍
EDI模块电源多元化流道设计,硅除掉率提升自己至99.8%
网上硅分折仪(估测使用范围0.1-500μg/L)变现精准扶贫有效控制
自动运行成效明显
经三方协议检验:
总硅从280mg/L低于0.05mg/L
硼含氧量从8μg/L低于0.3μg/L
系统收废率从原40%增强至68%
膜更改阶段加长至5年,年自动运行制造费减轻35%